Решение проблем управления движением в приложениях нанометрологии

Спрос на этапы, способные работать нанометрами, растет в геометрической прогрессии, поскольку сохраняется тенденция к достижению большей точности и контроля в метрологии и нанометрологических приложениях.

С появлением передовых сенсорных технологий возможности измерений стали более чувствительными, что позволяет обнаруживать и характеризовать мельчайшие особенности и отклонения в образцах. Чтобы использовать весь потенциал этих усовершенствованных датчиков, важно иметь этапы управления движением, которые могут перемещать образцы или датчики с исключительной точностью и стабильностью.

Возможность перемещения на несколько сотен миллиметров при сохранении точности нанометрового уровня открывает новые возможности для исследований, контроля качества и производственных процессов, которые требуют сложных измерений и точной настройки. В результате разработка нанометровых каскадов стала иметь решающее значение для удовлетворения потребностей современной метрологии и дальнейшего развития в различных отраслях.

Любые неточности или ошибки в движении могут существенно повлиять на результаты измерений. Даже незначительные отклонения или вибрации во время движения датчиков могут привести к нежелательным шумам и артефактам, снижающим общую точность измерений.

«Чтобы преодолеть эту проблему, системы движения должны быть спроектированы с исключительной точностью и стабильностью. Они должны быть способны достигать субнанометрового разрешения и поддерживать жесткие допуски во всем диапазоне движения. Превзойдя точность датчиков, эти высокопроизводительные прецизионные системы движения гарантируют, что полученные измерения не будут ограничены или нарушены самим движением, что позволяет исследователям и промышленным предприятиям достичь максимально возможного уровня точности измерений», — объясняет президент ALIO Industries Билл Хеннесси.

Для таких применений ALIO предлагает вертикальные Z-образные столики и монолитные основания XY. Z-ступени ALIO выделяются своим инновационным дизайном, предлагая вертикальное решение, которое полностью линейное и обеспечивает производительность, сравнимую с системами на воздушных подшипниках.

Хеннесси продолжает: «Что отличает Z-образный столик ALIO, так это его исключительная точность, на порядок превосходящая традиционные Z-образные решения. Это означает, что наш Z-образный столик может достигать беспрецедентного уровня точности и стабильности в приложениях вертикального позиционирования».

Устраняя недостатки, связанные с традиционными механизмами Z-клина, такие как нелинейность и механический гистерезис, уникальная конструкция ALIO обеспечивает последовательное и надежное вертикальное движение с субнанометровым разрешением, открывая новые возможности для применения нанометролов и нанотехнологий, производства полупроводников. , а также производство оптики, что позволяет OEM-производителям достигать уровня производительности, который ранее был недостижим с помощью традиционных решений.

Использование вертикального Z-образного столика на монолитном основании XY позволяет устанавливать полезную нагрузку заказчика непосредственно в верхней части столика на одной линии с двигателем, энкодером, подшипниками и противовесом, тем самым сводя к минимуму выступающие кронштейны и значительно уменьшая потенциальные ошибки Аббе ( оптические искажения, возникающие из-за изменения фокусных расстояний для разных длин волн света, что приводит к появлению цветной окантовки и снижению резкости изображения).

Монолитные XY-ступени ALIO обеспечивают ранее невиданную прямолинейность и плоскостность хода с нанометровой точностью, что снижает неопределенность измерений для производителей метрологического оборудования, обеспечивая более точные и надежные данные измерений, что имеет решающее значение для контроля качества, исследований и производственных процессов нового поколения.

Для получения дополнительной информации: www.alioindustries.com.

ССЫЛКА НА ГЛАВНУЮ СТРАНИЦУ